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2023年3月25日 (土)

i線とは 露光装置の要素技術

https://news.mynavi.jp/techplus/article/20230313-2622578/

 

300mmウェハ対応i線露光装置(ステッパー)

画面サイズ50mm×50mmの一括露光を実現しつつ、解像力0.5μmを実現

・フルサイズCMOSイメージセンサ

HMD向けマイクロOLED

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I線とは

https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/glossary_a/i_line.html

 

線とは、波長365nmの水銀のスペクトル線のこと。

水銀は多くのスペクトル線を持つが、紫外域・可視域・近赤外域における強いスペクトル線として、

253.652nm

296.728nm

312.566nm

365.015nm

404.656nm

407.781nm

434.750nm

435.835nm

546.074nm

576.959nm

579.065nm

690.716nm

1013.98nm

がある。

このうち、紫外域の波長365.015nm365nmのスペクトル線を i 線と言い、この波長を利用したステップアンドリピート(step and repeat)方式の露光装置を i 線ステッパなどと言う。

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露光装置の要素技術

 

https://www.ushio.co.jp/jp/technology/lightedge/200111/100266.html

 

水銀は、原子核の周りに80個の電子がある。

基底状態では最外殻の6s軌道に2個の電子が存在する。

その電子配置は、1s2 2s2 2p6 3s2 3p6 3d10 4s2 4p6 4d10 4f14 5s2 5p6 5d10 6s2と表わされる。

この最外殻の6s軌道にある2個の電子が励起準位に遷移する過程によって、種々の線スペクトルからなる光放射が発生する。

電子状態と代表的な許容遷移を図4-4に示す。

通常、露光に使用される水銀のラインは、g 線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)である。

これらの各線の中に、大きな遷移確率を有するものが含まれており、強い放射を得ることができる。

これらのラインの共通点は、着目している遷移の下準位が63pの三重項の電子状態に落ちることである。


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