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2011年1月27日 (木)

nanoデジタイザー

マイクロデジタイザー から ナノデジタイザー へ。

http://imeasure.cocolog-nifty.com/blog/2010/08/imagej-tips-set.html

「ガラス板にクロム蒸着にてΦ2mmの白抜き円を描き、その位置を計測する。」
作業ですが、更に計測方法を改良して、
サブピクセル(500nm)まで計測する方法を確立しました。

従来の方法では、1pixel
つまり、
1200ppiにて、20μm
2400ppiにて、10μm
が限界でした。

今回の計測手法の改良により、繰り返し再現は、
2400ppiにて、0.05pixel
つまり、
2400ppiにて、0.5μm(=500nm)
1200ppiにて、1.0μm
の精度が出そうです。

この計測方法で改めて、
寸法精度の改良を加えたES-10000Gの
(1)直交精度
(2)寸法精度
(3)倍率精度の温度依存性

(4)以上の繰り返し再現性や繰り返しスキャン時の寿命変動

などを計測する予定です。

改良を加えたES-10000Gは、
310x437mmの領域を画像計測するデジタイザーとして使えると思います。
もちろん、フィルム(透過モード)も対応可能です。

この計測手法の改良により、

[1]クロム蒸着の円中心をミツトヨの三次元計測器で計測し、

[2]ES-10000Gでスキャンした画像から、同じく円中心を計測し、

比較検証をすることができます。

ちなみに、ミツトヨの三次元計測器での非接触での光学的な繰り返し位置再現は、数μm(2〜3μmのバラツキ)です。

これに対して、ES-10000Gを用いた光学的な手法は、計測手段のみでの、繰り返し再現は、0.5μm以下と更に高精度となりそうです。

計測手法は、充分な精度が出るようになりましたので、

ES-10000Gのハードウェア的な寸法性能の向上を更に進めます。

nanoデジタイザー にご期待ください。

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