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2010年10月 2日 (土)

フィン型構造のシリコン発光ダイオードで光増幅現象を観測

http://www.hitachi.co.jp/New/cnews/month/2010/09/0921d.html
「日立は、多重量子井戸構造を形成するために、極薄シリコン膜をシリコン基板に垂直に1,000個以上並べたフィン型のシリコン発光ダイオードを試作しました。」

「試作したフィン型シリコン発光ダイオードは、リソグラフィーとドライエッチングを用いて、ひとつの素子内にフィンを1,000個以上一括形成したフィン型構造です。」

「エッチング直後のフィン幅は20ナノメートルですが、これを酸化することによって、最終的に約1ナノメートルにまで薄膜化しています。」

「また、形成したシリコン・フィン上 にシリコン窒化膜からなる光導波路を形成し、シリコン・フィン型発光ダイオードから発光した光を導波路に閉じ込めることによって、発光効率を高めていま す。」

「さらに、発光スペクトルの詳細な解析の結果、光の増幅が行なわれていることも確認しました。」

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